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重生千禧大玩家 第1098节 (第7/7页)
顶尖武器装备的图纸,可就是造不出来,只能干瞪眼了。” “未必。” “听你这么说,咦,难道咱们的国产浸润式光刻机终于突破了?” “……” 陆飞一言不发,望着镜子当中的自己,嘴角不经意地往上翘,三分骄傲,七分自信。 第839章 最后的战役(二) 沪市,张江技术园区。 中微半导体总部的四周,布置了密密麻麻的电网和监控器,安保力量更是配备齐全。 一座不起眼的工厂里,沙领导、郑韩等一众领导,在陆飞的带领下,来到车间外。 隔着玻璃窗,就能看到一个巨型公交车大小的光刻机,身穿防尘服的工作人员正在cao控这样的庞然大物,一个工作台完成扫描曝光的同时,另一个工作台也进行对准、调焦、下片等行动。 “因为芯片制造的过程中,并不是一次曝光就可以完成,而是需要经历多次曝光。” “在曝光完一个区域之后,放置硅晶圆的曝光台就必须快速进行移动,接着曝光下一个需要曝光的区域,想要在这么多次快速移动中实现纳米级别的对准,双工作台就必须做到精度高而且cao作时间短,这项技术本来只有asml有,但现在已经被我们突破了。” 陆飞滔滔不绝,如数家珍。 领导们一言不发,目不转睛地盯着运行中的光刻机,虽然不是第一次见到光刻机,但一想到这是第一台国产的duv浸润式光刻机,都压不住激动的心情,尽可能地往前靠,想凑得更一些,看得更清楚一些。
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